Xenondifluorid

Xenondifluorid (XeF2) är ett vitt, kristallint ämne som används som fluoreringsmedel.

Xenondifluorid
Systematiskt namnXenondifluorid
Molmassa169,29 g/mol
Utseendevit, fast
CAS-nummer13709-36-9
Egenskaper
Densitet4,32 g/cm³
Löslighet (vatten)25 g/l
Smältpunkt128,6 °C
Faror
HuvudfaraOxidationsmedel, frätande, giftigt
SI-enheter & STP används om ej annat angivits

Egenskaper

I likhet med andra xenonfluorider har ämnet en god fluoreringsförmåga samt hög smältpunkt i förhållande till flertalet andra föreningar av xenon. Ämnet utmärker sig genom sin förmåga att lösas i vatten, då övriga xenonfluorider är olösliga.

Användning

Xenondifluorid används för att etsa kisel, vilket möjliggör tillverkning av integrerade kretsar och andra elektroniska komponenter. Processen kan beskrivas genom följande reaktionsformel:

2 XeF 2 + Si ⟶ 2 Xe ( g ) + SiF 4 ( g ) {\displaystyle {\ce {2XeF2 + Si -> 2Xe(g) + SiF4(g)}}}

Referenser

  1. ^ ”xenon - Uppslagsverk - NE.se”. www.ne.se. https://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/l%C3%A5ng/xenon. Läst 7 januari 2024. 
  2. ^ PubChem. ”Xenon difluoride” (på engelska). pubchem.ncbi.nlm.nih.gov. https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/83674. Läst 7 januari 2024. 
  3. ^ ”Usage Policies Notebook for Xenon Difluoride (XeF2) Isotropic Si Etch”. University of California, Irvine. https://www.inrf.uci.edu/wordpress/wp-content/uploads/sop-dry-xef2-etch-notebook.pdf. Läst 8 januari 2024.